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中微半导体设备（上海）有限企业（下称中微半导体）获得国家集成电路基金4.8亿元投资。这是继长电科技后，国家集成电路基金出手的第二次投资；也是上海半导体行业获得的第一笔国家基金投资。

中微半导体主要的产品为等离子刻蚀机，其28nm-15nm的耦合等离子体介质刻蚀机去年获得了中国国际工业博览会金奖，产品出口额占我国泛半导体设备出口额的仅8成，拥有台积电、英特尔等客户。

上海也积极推动集成电路这一“国家战略”，已经拥有较为完备的产业链布局。目前，既有锐迪科、展讯、中芯国际、华力微电子、上海华虹、上海贝岭等芯片设计、制造企业，也有中微半导体、盛美半导体等上下游设备制造企业。

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