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国家电路基金投资再落一单 中微半导体获投4.8亿

中微半导体设备(上海)有限企业(下称中微半导体)获得国家集成电路基金4.8亿元投资。这是继长电科技后,国家集成电路基金出手的第二次投资;也是上海半导体行业获得的第一笔国家基金投资。

中微半导体主要的产品为等离子刻蚀机,其28nm-15nm的耦合等离子体介质刻蚀机去年获得了中国国际工业博览会金奖,产品出口额占我国泛半导体设备出口额的仅8成,拥有台积电、英特尔等客户。

上海也积极推动集成电路这一“国家战略”,已经拥有较为完备的产业链布局。目前,既有锐迪科、展讯、中芯国际、华力微电子、上海华虹、上海贝岭等芯片设计、制造企业,也有中微半导体、盛美半导体等上下游设备制造企业。

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